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スパッタイオンポンプ GST-07L-B-GST-07L-B
スパッタイオンポンプ GST-07L-B-株式会社アルバック

スパッタイオンポンプ GST-07L-B
株式会社アルバック

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この製品について

CPU搭載によるマルチ機能化されたスパッタイオンポンプコントロールです。 特長

■小型・軽量

CPU搭載によるマルチ機能化。この1台で全てのスパッタイオンポンプ (PSTシリーズ) の制御が可能。

■通信機器標準装備

外部通信制御機能が標準装備されているので、遠隔操作・自動化運転が可能。

■XHV対応

自動起動回路およびソフトスタート機能搭載により、ポンプセルの汚染を最小限に抑えることが可能。 (→特許第1340297号他出願中)

■安全機能向上

操作スイッチの誤操作防止機能および各種保護用インターロック機能搭載。耐熱・耐寒および電気特性に優れたハイフロンフッ素樹脂高圧ケーブルの採用。 特定有害物質の使用制限 (RoHS指令) 対応。CEマーキング対応。

■用途

・加速器 ・電子顕微鏡 ・分析機器

  • シリーズ

    スパッタイオンポンプ GST-07L-B

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スパッタイオンポンプ GST-07L-B 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 組合せポンプ 動作圧力 表示範囲 (表示内容) 表示範囲 (a) 出力電流表示) 表示範囲 (b) 出力電圧表示) 表示範囲 (c) 圧力表示) 出力開放電圧 出力電流 入力電圧・電流 MONITOR端子出力信号 圧力セットポイント REMOTE/LOCAL 保護機能 使用環境 (温度範囲) 使用環境 (湿度範囲) 質量 外形寸法 WxHxD 付属品
スパッタイオンポンプ GST-07L-B-品番-GST-07L-B

GST-07L-B

要見積もり

アクターポンプ (全てのPSTシリーズ)

10-2 to 10^-4Pa以下

デジタル表示 (7セグメントLED表示)

mA, μAの2レンジ自動切換え (LINEAR表示)

DC0.0~7.5kV (HまたはL) (1レンジLINEAR表示)

Pa, mbr
(1×10^-8~1×10^-2Pa) (1×10^-10~1×10^-4mbar)

DC+7.5kV (パネル面スイッチによりH.Lの2点設定切り換えH.Lの設定電圧は約1.0~7.5kVボリューム可変)

DC31mA以下

AC100~115V±10%・50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% ・50/60Hz~1.5A

パネル7セグメント表示に比例した信号を出力
各レンジDC0~10V F.S. 100kΩ以上

2点

前面パネルスイッチにより切替

エラー表示/各種保護機能搭載
表示点灯で高電圧 (HV) 出力遮断 (ERR0~8) スタートアップ保護用タイマー設定 (1~255分で可変) 停電後自動復帰可能 (HV-HOLDスイッチ操作)

0~40℃

85%以下 (結露無し)

本体:約4kg

W240×H99×D370mm (ラック取付金具除く)

入力ケーブル3m

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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