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シリーズ
ターボ分子ポンプ UTM-B取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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真空ポンプの製品909点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポンプ 冷却方式 | フランジ口径 (吸気口) | フランジ口径 (排気口) | 排気速度 (保護ネットなし時) N2 | 排気速度 (保護ネットなし時) He | 排気速度 (保護ネットなし時) H2 | 到達圧力 (ベーキング後) | 到達圧力 (ベーキング前) | 最大圧縮比 | 最大吸気口圧力 (N2) | 最大排気口圧力 (N2) | 連続運転最大流量 ガスパージ無 (N2) | 推奨補助ポンプ | 質量 | 回転数 | 起動時間 (80%まで) | 表面処理 | 取り付け方向 | 騒音 | 入力電源 | 接点入出力 | シリアル通信 | LED表示 | スイッチ | 回転数可変 | 異常検出 | 保護動作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
UTM70B |
要見積もり |
自然空冷/強制空冷 |
VG65, ICF114, ISO063-K |
KF16 |
70L/s |
60L/s |
49L/s |
-3 |
10^-6Pa |
N2:>1×10 9, He:4×10 7, H2:4×10 5 |
0.43Pa |
300Pa |
15sccm |
60L/min以上 |
VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg |
87,000rpm |
(DC24V 背圧5Pa以下時) 1.7分 |
無し |
全方位 |
48dB (A) 以下 |
DC24V ±5%, 120W |
REMOTE (D-sub15ピンオス) デジタル入出力4点,アナログ出力1点 |
RS-485 (D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用) |
POWER,NORMAL,ALARM |
START/STOP,RESET |
ポンプ既定回数の25%~100%の間で回転数の変更が可能 (設定は0.1%単位) |
アラーム,ワーニングを検出 |
アラーム,ワーニングを表示 |
