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ターボ分子ポンプ UTM-MS-UTM300A-MS
ターボ分子ポンプ UTM-MS-株式会社アルバック

ターボ分子ポンプ UTM-MS
株式会社アルバック

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この製品について

磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300~4,000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コントローラ部では運転状態のモニターが出来て、各種通信規格に対応します。

■特長

・ポンプ本体とコントローラ部が別置き。コントローラ部では運転状態のモニターが出来て、各種通信規格に対応します。 ・自由な取付方向。取付方向に制限が無いため、装置設計の自由度が広がります。 ・排気速度300L/s~4,000L/sクラスをラインナップ ・ポンプ回転数を25~100%の範囲で可変。回転数は可変することができ、チャンバーの圧力調整ができます。 ・高い耐久性と安全性。大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています。

■用途

・各種装置の真空主排気系 - 半導体製造装置 - 蒸着装置 - スパッタリング装置 - 分析装置 ,実験装置など - 研究開発設備 ・副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系 ・その他、高真空排気用途全般

  • シリーズ

    ターボ分子ポンプ UTM-MS

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ターボ分子ポンプ UTM-MS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口 排気口 冷却方式 到達圧力 (Pa) 排気速度N2 (L/s) 排気速度He (L/s) 排気速度H2 (L/s) 圧縮比 (N2) 圧縮比 (He) 圧縮比 (H2) 最大吸気口圧力 (Pa) 最大排気口圧力 (Pa) 回転数 (rpm) 起動時間 取付方向 表面処理 冷却水 流量 (L/min) 冷却水 水圧 (MPaG) 騒音 (dB (A) ) 質量 (kg) 推奨補助ポンプ コントローラ (構成) コントローラ (入力電源) コントローラ (最大所要電力KVA) コントローラ (回転数可変機能) コントローラ (外部制御) コントローラ (質量Kg)
ターボ分子ポンプ UTM-MS-品番-UTM300A-MS

UTM300A-MS

要見積もり

VG100/ICF152

KF25

水冷/空冷

10^-7

320

340

320

1×10^9

8×10^4

1×10^4

200

400

45,000

5分以内

全方位取付可能

ニッケルめっき

1~3

02~0.5

60

14

200L/min以上

別置き

単相AC200~240V ±10% (50/60Hz ±2Hz)

0.55

ポンプの規定回転数の25%~100%の間で、運転回転数の変更が可能 (設定は0.1%単位)

接点入出力
RS-232C/RS-485

8

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

73.9時間

会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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