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メカニカルブースタポンプ PRC-PRC-003A
メカニカルブースタポンプ PRC-株式会社アルバック

メカニカルブースタポンプ PRC
株式会社アルバック

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この製品について

PRCシリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。 特長

■オイルフリー

ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。

■キャンドモータ採用

キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。

■耐腐食性に優れた表面処理

主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。

■排気時間短縮に有効な大気圧駆動型 (オプション:インバータ)

粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

■特殊用途向けにもオプション対応

標準の他、特殊用途向けの機種も用意しております。

■用途

・蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング ・真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 ・分析機器、リークテスト装置 ・ガス置換、充填、真空断熱 ・熱処理炉、溶解炉 ・その他各種真空装置

  • シリーズ

    メカニカルブースタポンプ PRC

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メカニカルブースタポンプ PRC 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大排気速度 (m3/h (L/min) ) 最大吸入圧力 (Pa) 最大許容圧力差 (Pa) 到達圧力 (Pa) 駆動可能圧力 (Pa) モータ モータ形式 モーター 出力 モーター 200V級モータ (V) 使用油 所要油量 (L) 冷却方式 冷却水 一次側圧力 (Mpa) 冷却水 出入口差圧 (Mpa) 冷却水 冷却水量 (L/min) 冷却水 冷却水温度 (℃) 吸気口径 JIS-B-2290 排気口径 JIS-B-2290 外形寸法W×D×H (mm) 質量 (kg) 標準補助ポンプ 取扱付属品
メカニカルブースタポンプ PRC-品番-PRC-003A

PRC-003A

要見積もり

50Hz:280 (4670) 60Hz:330 (5500)

50Hz:1.2x10 3
60Hz:9.3x10 2

50Hz:4.0x10 3
60Hz:3.3x10 3

4.0x10 -1

~1.0×105 (大気圧駆動型)

キャンドタイプ 三相誘導電動機

0.75kW (2極数)

50Hz:200V
60Hz:200/220V

ULVOIL R-42

0.7

水冷

0.3

0.01以上

2

5~30℃

VG80相当

VF80相当

296×575×260

51

VD60C

取扱説明書1部、油1台分

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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