多段ルーツ型ドライ真空ポンプ LR
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この製品について

ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排気に最適なポンプとなっています。

特長
■低温領域で均熱化 (LRシリーズ) PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適です。

■ヘリウムタイトキャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全です。

■瞬停対策1,000msec以内の瞬停対策を施しています。

■優れた耐食性主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減します。

■通信機能ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング/アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能です。

■用途・成膜装置 (スパッタリング装置/蒸着装置など) 
・仕込み取り出し室の排気時間短縮
・補助排気ポンプとして (ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ LR

取扱企業
株式会社アルバック

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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ LR 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大排気速度 (50Hz) m3/h (L/min)	最大排気速度 (60Hz) m3/h (L/min)	到達圧力	最大吸気口圧力 ( (吸入圧力)	最大排気口圧力 (排出圧力)	吸気口 (CE仕様)	排気口	質量 (kg)	電力三相 (VAC (Hz)	電流値A (定常時)	電流値A (最大値)	冷却水一時圧力 (MPa)	冷却水出入口差圧 (MPa)	冷却水流量 (L/min)	パージガス (一次圧力)	パージガス (二次圧力)	N2パージ (軸)	N2パージ (ガスバラ)
	LR60	要見積もり	62 (1,030)	80 (1,333)	5.0 Pa	大気圧	1Pa~大気圧	VG50 (KF50)	KF40	180	200 (50/60) , 220 (60)	6.9 (200V時)	7.3 (200V時)	0.1~0.3	>0.1	>5.0	0.1~0.5	0.05~0.1	5	0~45