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X軸 マイクロスリム自動ステージ GT-MS-12-GT-MS-12
X軸 マイクロスリム自動ステージ GT-MS-12-ワイヤード株式会社

X軸 マイクロスリム自動ステージ GT-MS-12
ワイヤード株式会社

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この製品について

■特徴

・テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ・小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラガイドを採用することにより、1kgの荷重が載せられる高剛性を実現 ・本体部に原点検出機能 (フォトセンサ) を搭載。 ・全体の寸法が幅20mm、全長77.5mm、高さ32mmを実現 ・重さ140gの超軽量構造をこの寸法で実現しました。 ・光学部品、半導体、MEMS部品、装置組み込み用など、狭い場所での使用が可能です。

  • シリーズ

    X軸 マイクロスリム自動ステージ GT-MS-12

企業レビュー 3.0

Metoree経由で見積もり

2025年8月6日にレビュー済み

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X軸 マイクロスリム自動ステージ GT-MS-12 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動量 繰り返し位置決め精度 ロストモーション 耐荷重 質量 モーター 駆動方式 理論分解能 センサー
X軸 マイクロスリム自動ステージ GT-MS-12-品番-GT-MS-12

GT-MS-12

要見積もり

12mm

±3μm

5μm

水平 (垂直) 耐荷重 10 (0.3) kgf

約0.14kg

オリエンタルモーター5相ステッピングモーター PK513-PB (0.35A相)

精密送りネジリード5mm、クロスローラガイド機構 (予圧)

0.5μm (ハーフステップ)

フォトマイクロセンサーPM-U24/PM-U25 (SUNX製) DC24V 1個

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特徴: 自動調整型

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自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

3.0

会社概要

ワイヤード株式会社は、オーダーメイドのシステム装置・位置決め装置を設計・開発・製造するメーカーです。 1999年に創立し、長年の位置決め装置開発のノウハウにより、ニーズに応じたカスタム検査装置、光学システム製品、光学設...

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  • 本社所在地: 東京都

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