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FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1N
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-株式会社オーバル

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形
株式会社オーバル

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この製品について

汎用形気体用質量流量計FHAシリーズの水素防爆構造モデルです。同様に、汎用形気体用質量流量コントローラFHBシリーズのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたものがFHDシリーズです。これらを組み合わせることによって、防爆形気体用質量流量コントローラを構成できます。 各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント、半導体製造プロセス、研究所などの危険場所におけるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

■主な特長

・水素ガスにも適用可能な JIS 防爆構造“d3aG4”タイプです。 ・5NCCM (mL/min〔normal〕) ~500NLM (L/min〔normal〕) までの広い流量範囲をカバーします。 (コントローラとしては、100NLMまで) ・ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。 ・真空から最高 39.2MPa まで、広範な使用圧力に対応します。 ・高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。 ・応答性が優れています。 ・コントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式ですので、応答性が良く安全に使用できます。 ・リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形

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FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 接続 ターンダウン 使用温度範囲 精度 機種 最高使用圧力 フルスケール流量 本体構造 流体 温度 本体材料 プロセス接続 (本体) 防爆構造 温度等級/発火度 法規関連 変換器構造 電源 入出力信号 バージョン
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

フッ素ゴム/FKM

なし (標準)

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1Z

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

フッ素ゴム/FKM

特殊

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

クロロプレンゴム/CR

なし (標準)

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2Z

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

クロロプレンゴム/CR

特殊

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

パーフルオロエラストマー/FFKM

なし (標準)

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3Z

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

パーフルオロエラストマー/FFKM

特殊

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-4N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-4N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

複数組合せ

なし (標準)

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FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-4Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

複数組合せ

特殊

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FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-5N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

特殊

なし (標準)

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FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-5Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+50℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (防爆)

39.2MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

TIIS 防爆 (d3aG4)

G4 (TIIS)

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号 FHC

バージョン A

特殊

特殊

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会社概要

株式会社オーバルは、1949年に創業された流量計を取り扱うメーカーです。 流量計とは液体あるいは気体の流量を測定する機器で、測定原理により様々な種類があります。容積流量計・コリオリ流量計・渦流量計など、各種工業用流量計...

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