FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1N
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-株式会社オーバル

FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形
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この製品について

汎用形気体用質量流量計FHAシリーズの水素防爆構造モデルです。同様に、汎用形気体用質量流量コントローラFHBシリーズのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたものがFHDシリーズです。これらを組み合わせることによって、防爆形気体用質量流量コントローラを構成できます。 各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント、半導体製造プロセス、研究所などの危険場所におけるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

■主な特長

・水素ガスにも適用可能な JIS 防爆構造“d3aG4”タイプです。 ・5NCCM (mL/min〔normal〕) ~500NLM (L/min〔normal〕) までの広い流量範囲をカバーします。 (コントローラとしては、100NLMまで) ・ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。 ・真空から最高 39.2MPa まで、広範な使用圧力に対応します。 ・高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。 ・応答性が優れています。 ・コントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式ですので、応答性が良く安全に使用できます。 ・リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形

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FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形 品番10件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 接続 ターンダウン 使用温度範囲 精度 機種 最高使用圧力 フルスケール流量 本体構造 流体 温度 本体材料 プロセス接続 (本体) 防爆構造 温度等級/発火度 法規関連 変換器構造 電源 入出力信号 バージョン シール材料 特殊仕様
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A フッ素ゴム/FKM なし (標準)
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1Z

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-1Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A フッ素ゴム/FKM 特殊
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A クロロプレンゴム/CR なし (標準)
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2Z

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-2Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A クロロプレンゴム/CR 特殊
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A パーフルオロエラストマー/FFKM なし (標準)
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3Z

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-3Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A パーフルオロエラストマー/FFKM 特殊
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-4N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-4N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A 複数組合せ なし (標準)
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FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-4Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A 複数組合せ 特殊
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-5N

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-5N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A 特殊 なし (標準)
FHAシリーズの水素防爆構造モデル 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 防爆形-品番-FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-5Z

FHC30S-G0CTG-D40-1MAA-5Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+50℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (防爆) 39.2MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) TIIS 防爆 (d3aG4) G4 (TIIS) 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 FHC バージョン A 特殊 特殊

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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株式会社オーバルは、1949年に創業された流量計を取り扱うメーカーです。 流量計とは液体あるいは気体の流量を測定する機器で、測定原理により様々な種類があります。容積流量計・コリオリ流量計・渦流量計など、各種工業用流量計...

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