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高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1N
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-株式会社オーバル

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆
株式会社オーバル

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この製品について

気体の流量を質量ベースで正確に測定 / コントロールします。FHA シリーズは、高精度、かつコンパクトな気体流量計です。FHBシリーズは、FHA シリーズにコントロールバルブ (電磁式) を一体化した流量コントローラです。これらは、表示器・設定器等を内蔵したリードアウトユニット (ROU) と組み合わせることによって、簡易な流量計測/制御システムを構成することができます。 各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

■主な特長

・5NCCM (mL/min〔normal〕) ~500NLM (L/min〔normal〕) までの広い流量範囲をカバーします。 ・ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。 ・高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。 ・応答性が優れています。 ・マスフローコントローラに使われているコントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式ですので応答性がよく、安全に使用できます。 ・リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆

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高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 接続 ターンダウン 使用温度範囲 精度 機種 最高使用圧力 フルスケール流量 本体構造 流体 温度 本体材料 プロセス接続 (本体) 防爆構造 温度等級/発火度 法規関連 変換器構造 電源 入出力信号 バージョン
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

フッ素ゴム/FKM バイトン

なし (標準)

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

フッ素ゴム/FKM バイトン

特殊

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

クロロプレンゴム/CR ネオプレン

なし (標準)

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

クロロプレンゴム/CR ネオプレン

特殊

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

パーフルオロエラストマー/FFKM カルレッツ

なし (標準)

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

パーフルオロエラストマー/FFKM カルレッツ

特殊

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

複数組合せ

なし (標準)

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

複数組合せ

特殊

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-5N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-5N

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

特殊

なし (標準)

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FHA00S-G0CTG-000-1MAA-5Z

要見積もり

くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など

1:50

-10~+70℃

フルスケールの±1% (実ガス校正時)

マスフローメータ (非防爆)

0.99MPa

7.5 mL/min (normal) at Air

標準 継手溶接は「特殊」

気体

標準

SUS316

管用平行めねじ (標準)

非防爆

非防爆

標準

一体形

± 15VDC 電源

アナログ信号

バージョン A

特殊

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会社概要

株式会社オーバルは、1949年に創業された流量計を取り扱うメーカーです。 流量計とは液体あるいは気体の流量を測定する機器で、測定原理により様々な種類があります。容積流量計・コリオリ流量計・渦流量計など、各種工業用流量計...

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