高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1N
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-株式会社オーバル

高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆
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この製品について

気体の流量を質量ベースで正確に測定 / コントロールします。FHA シリーズは、高精度、かつコンパクトな気体流量計です。FHBシリーズは、FHA シリーズにコントロールバルブ (電磁式) を一体化した流量コントローラです。これらは、表示器・設定器等を内蔵したリードアウトユニット (ROU) と組み合わせることによって、簡易な流量計測/制御システムを構成することができます。 各種ガスの供給システム、ガスミキシングプロセス、パイロットプラント・半導体製造プロセス・研究所などで使用されるガスの流量計測、およびコントロールに最適です。

■主な特長

・5NCCM (mL/min〔normal〕) ~500NLM (L/min〔normal〕) までの広い流量範囲をカバーします。 ・ラミナーフローエレメントにより、最適なフルスケール調整が可能です。 ・高腐蝕性ガス以外のほとんどのガス体に適用可能です。 ・応答性が優れています。 ・マスフローコントローラに使われているコントロールバルブは、ノルマルクローズタイプの電磁式ですので応答性がよく、安全に使用できます。 ・リードアウトユニットとの組み合わせにより、多様なアプリケーションに対応できます。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆

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高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆 品番10件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 接続 ターンダウン 使用温度範囲 精度 機種 最高使用圧力 フルスケール流量 本体構造 流体 温度 本体材料 プロセス接続 (本体) 防爆構造 温度等級/発火度 法規関連 変換器構造 電源 入出力信号 バージョン シール材料 特殊仕様
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A フッ素ゴム/FKM バイトン なし (標準)
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-1Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A フッ素ゴム/FKM バイトン 特殊
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A クロロプレンゴム/CR ネオプレン なし (標準)
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-2Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A クロロプレンゴム/CR ネオプレン 特殊
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A パーフルオロエラストマー/FFKM カルレッツ なし (標準)
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-3Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A パーフルオロエラストマー/FFKM カルレッツ 特殊
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A 複数組合せ なし (標準)
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-4Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A 複数組合せ 特殊
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-5N

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-5N

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A 特殊 なし (標準)
高精度かつコンパクト 気体用熱式質量流量計・コントローラ MASFLO-OVALⅡ 非防爆-品番-FHA00S-G0CTG-000-1MAA-5Z

FHA00S-G0CTG-000-1MAA-5Z

要見積もり くい込み継手、メタルガスケット面シール継手など 1:50 -10~+70℃ フルスケールの±1% (実ガス校正時) マスフローメータ (非防爆) 0.99MPa 7.5 mL/min (normal) at Air 標準 継手溶接は「特殊」 気体 標準 SUS316 管用平行めねじ (標準) 非防爆 非防爆 標準 一体形 ± 15VDC 電源 アナログ信号 バージョン A 特殊 特殊

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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株式会社オーバルは、1949年に創業された流量計を取り扱うメーカーです。 流量計とは液体あるいは気体の流量を測定する機器で、測定原理により様々な種類があります。容積流量計・コリオリ流量計・渦流量計など、各種工業用流量計...

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