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エドワーズ真空ポンプ 小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ-E2M0.7
エドワーズ真空ポンプ 小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ-キヤノンアネルバ株式会社

エドワーズ真空ポンプ 小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

排気速度15 L/min~500 L/minまでの幅広いレンジを揃え、独自オイル供給機構等により振動・騒音が抑制されています。 エドワーズ社の直結型ロータリポンプは、排気速度15 L/minから500 L/minまでの幅広いレンジを揃えています。当社は近代的量産設備のコンピュータコントロールマシニングセンターを備え、部品製作から中間検査・組立・最終検査まで一貫したプロセスで行い、常に信頼性の高いポンプを世界各国に供給しています。 特長

■ユニークな給油システムを採用

加圧給油方式を採用しており、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。特にRVシリーズは高真空はもちろんハイスループット (高い圧力) でもスムーズな連続運転を実現する為、オイル流量の調整バルブを内蔵しています。

■オイルの逆流防止機構

停電などの突然の停止時にもオイルの逆流を完全に防止し、システム側を真空状態に保ちます。

■低振動・低ノイズ

精密加工と特殊給油方式により、振動・ノイズがきわめて低く、RVシリーズで48 dB (A) 程度。

■用途

・電子顕微鏡 ・質量分析 ・残留ガス分析 ・真空オーブン ・その他真空排気

  • シリーズ

    エドワーズ真空ポンプ 小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ

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エドワーズ真空ポンプ 小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 設計排気速度 (L/min) 50Hz 設計排気速度 (L/min) 60Hz 実効排気速度 (L/min) 50Hz 実効排気速度 (L/min) 60Hz 到達圧力 (Pa) ガスバラ閉 到達圧力 (Pa) ガスバラ開 最大水蒸気流入圧力 (Pa) 最大処理水量 (g/hr) 吸気接続 排気接続 標準オイル オイル量 (L) フッソ系オイル仕様の有無 電動機 出力 (kW) 50Hz 電動機 出力 (kW) 60Hz 電動機 電圧 (V) 単相 質量 (kg)
エドワーズ真空ポンプ 小型ロータリーポンプ EM・RVシリーズ-品番-E2M0.7

E2M0.7

要見積もり

15

18.3

12.5

15.8

0.3

2

1,500

8

NW10

11φ

ウルトラグレード15

0.28

0.09

0.09

100-120 または 200-240

10

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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