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エドワーズ真空ポンプ 中大型ロータリーポンプ EMシリーズ-E2M40
エドワーズ真空ポンプ 中大型ロータリーポンプ EMシリーズ-キヤノンアネルバ株式会社

エドワーズ真空ポンプ 中大型ロータリーポンプ EMシリーズ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

排気速度600 L/min~5,000 L/minが用意されています。堅牢設計と各種アクセサリで高い性能と信頼性を発揮します。 エドワーズ社の堅牢設計ロータリポンプには、40 ~ 275 m3/hの排気速度が用意されています。適切なアクセサリと共に使用する事により、さらに性能と信頼性が向上します。システムに適したポンプおよびアクセサリを選択する際の主な目的は、ポンプの寿命を延ばし、安全に作動させることと、性能を最大限に引き出した状態でシステムの運転を継続させることです。

■特長

・高度なオイル循環回路 ・高い信頼性 ・アプリケーションニーズにマッチする豊富なアクセサリユニークな給油システムを採用

■用途

・薄膜コーティング ・真空冶金 ・結晶成長 ・真空蒸留 ・凍結乾燥 ・宇宙シュミレーション

  • シリーズ

    エドワーズ真空ポンプ 中大型ロータリーポンプ EMシリーズ

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エドワーズ真空ポンプ 中大型ロータリーポンプ EMシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 設計排気速度 m3/h (L/min) 50Hz 設計排気速度 m3/h (L/min) 60Hz 実効排気速度 m3/h (L/min) 50Hz 実効排気速度 m3/h (L/min) 60Hz ポンプ段 (ステージ) 数 到達圧力 (全圧) (Pa) ガスバラスト閉 到達圧力 (全圧) (Pa) ガスバラスト開 水蒸気の最大許容吸気圧 (Pa) 水蒸気の最大排気速度 (kg/h) 接続フランジ 吸気 接続フランジ 排気 モータ定格 (kW) 50Hz モータ定格 (kW) 60Hz 標準仕様推奨オイル オイル量 (L) F仕様推奨オイル F仕様オイル量 (L) 質量 (kg)
エドワーズ真空ポンプ 中大型ロータリーポンプ EMシリーズ-品番-E2M40

E2M40

要見積もり

42.5 (708)

50.5 (842)

37 ( 617)

44 ( 733)

2

0.1

0.7

700

0.2

ISO40

NW25

1.5

1.5

ウルトラグレード70

4

フォンブリンYVAC 06/6

3.5

72

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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