エドワーズ真空ポンプターボ分子ポンプ nEXTシリーズ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

多段ドラッグステージを備えマルチステージで高圧縮比を実現したハイブリッドベアリング (マグネットとセラミック) 構造のターボ分子ポンプです。

nEXTターボ分子ポンプは製品製造の為の設計に新しい考え方を取り入れました。ターボ分子ポンプの全ての最新技術を集積し、クラス最先端の製品を提供するよう設計されています。nEXTには240 L/s、300 L/s、400 L/s の3種類のサイズが用意されています。

■特長・卓越した排気速度と圧縮比を実現する最先端のロータデザイン
・マグネットベアリングとセラミックベアリングのハイブリッド構造
・インターステージポート (iタイプ) を準備

■優れたメンテナンス性ベアリングと潤滑油の交換がユーザーで簡単に可能

■DC24 V駆動コントローラを内蔵80 Wまたは160 W出力

■DとTの2種類のバージョンを準備・D：タービンブレード＋ドラッグステージ
・T：Dタイプ機構＋リジェネレーションステージ

■用途・理化学用分析機器
・LCMS
・GCMS
・SEM

■備考・インターステージ排気速度 L/sec (iタイプのみ) N2 【13】
・インターステージ排気速度 L/sec (iタイプのみ) He 【13】
・インターステージ排気速度 L/sec (iタイプのみ) H2 【11】
・連続最大吸気流量 (窒素sccm) 水冷時 (外気温40℃) 【45】
・連続最大吸気流量h (窒素sccm) 強制空冷時 (外気温35℃) 【30】
・連続最大吸気流量　 (窒素sccm) 自然空冷時 (外気温35℃) 【10】
・連続最大背圧Pa水冷時 (外気温40℃) 【600】
・連続最大背圧 Pa強制空冷時 (外気温35℃) 【475】
・連続最大背圧 Pa自然空冷時 (外気温30℃) 【100】
・最大ブースト速度 (Tタイプ) RV12使用時m3/h (L/min)        N2 【26 (433) 】
・最大ブースト速度 (Tタイプ) XDS10使用時m3/h (L/min)        N2 【24 (400) 】

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
エドワーズ真空ポンプターボ分子ポンプ nEXTシリーズ

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

ポンプ

ドライポンプ

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エドワーズ真空ポンプターボ分子ポンプ nEXTシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	インレットフランジ	排気速度　L/sec N2	排気速度　L/sec He	排気速度　L/sec H2	圧縮比 (D) N2	圧縮比 (D) He	圧縮比 (D) H2	圧縮比 (T) N2	圧縮比 (T) He	圧縮比 (T) H2	到達圧力　Pa　ISO (CF) フランジ	背圧／インターステージ／ブーストポート	ベント／パージポート	臨界背圧 (D) Pa	臨界背圧 (T) Pa	推奨背圧ポンプ	ノーマル回転速度 rpm	90％速度までの起動時間　D (T) sec	ノイズレベル (機側 1m) dB (A)	質量 D (T) kg ISO	質量 D (T) kg CF
	nEXT240	要見積もり	DN100 ISO-K DN100CF	240	230	165	＞1X10^11	3X10^5	1X10^4	＞1X10^11	1X10^6	1.5X10^4	6×10^-6 (5×10^-8)	NW25	1/8 BSP	950	2,000	RV12 / XDS10	60,000	115 (150)	< 45 (±3)	5.7 (6)	8.8 (9.1)