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エドワーズ真空ポンプ ターボ排気ユニット T-Station 85取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気速度 N2 NW40フランジ | 排気速度 N3 ISO/63CFフランジ | E2M1.5システム (Wet) | XDD1システム (Dry) | 到達圧力 | 質量 E2M1.5システム | 質量 XDD1システム | リークレート | 周囲温度範囲 (使用時) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
T-Station 85 (エドワーズ社製) |
要見積もり |
47 L/s |
84 L/s |
26.6 L/min |
20 L/min |
< 5×10^-8 Pa* *T-Staion 85H Wet CF63の場合 |
21 kg |
18 kg |
< 1×10^-7 Pam3/s |
12 ~ 40 ℃ |
