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イオンポンプ・ノーブルポンプ (真空ポンプ) -912-7125
イオンポンプ・ノーブルポンプ (真空ポンプ) -キヤノンアネルバ株式会社

イオンポンプ・ノーブルポンプ (真空ポンプ)
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

イオンポンプ/ノーブルポンプは磁場中で冷陰極放電を起こすことで排気を行う完全オイルフリーの超高真空用ポンプです。 イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料 (Ti) をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行う超高真空ポンプです。 特長

■完全オイルフリー

油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる

■超高真空、極超真空

イオンポンプ・ノーブルポンプは10-1 Pa ~ 10-9 Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適

■無人運転

運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利

■不活性ガスの排気 (ノーブルポンプ)

二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています (アルゴンで空気の約21 %)

■用途

・完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系 ・電子顕微鏡、表面分析装置 ・粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置 ・電子管などの真空保持ポンプ

  • シリーズ

    イオンポンプ・ノーブルポンプ (真空ポンプ)

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イオンポンプ・ノーブルポンプ (真空ポンプ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気速度 (N2ガスに対して) 動作範囲 起動可能圧力 内容積 最大加熱温度 吸入口 電流導入端子 素子 (交換用) マグネット 質量
イオンポンプ・ノーブルポンプ (真空ポンプ) -品番-912-7125

912-7125

要見積もり

20 L/s

10^-1 ~ 10^-9 Pa

1.3 Pa以下

1.4 L

250 ℃

φ70ICF

交換不可

交換不可

912-7,121 (1個) 本体に含む

10.5 kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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