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真空ポンプ コンビネーションポンプ (真空ポンプ) -400 L/sコンビネーションポンプ
真空ポンプ コンビネーションポンプ (真空ポンプ) -キヤノンアネルバ株式会社

真空ポンプ コンビネーションポンプ (真空ポンプ)
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

3極型イオンポンプ (ノーブルポンプ) とチタンサブリメーションポンプを組み込んだ完全オイルフリーの真空ポンプです。 コンビネーションポンプでは、チタンサブリメーションポンプと三極型イオンポンプ (ノーブルポンプ) を組み合わせることで、イオンポンプの有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、大排気速度を安い価格で得られます。 特長

■大排気速度

排気速度1 L/sあたりの価格 (制御装置の価格も含む) は、イオンポンプに比べて約1/2~1/3

■軽量でコンパクト

同じ排気速度を持つイオンポンプに比べ、体積・重量は1/5~1/10です。したがって、被排気系への取付け、取外しが簡単に行え、小さなスペースで大排気速度が得られます

■用途

蒸着装置、電子顕微鏡、質量分析装置、真空炉、各種分析装置、実験装置、排気装置、その他ガス放出の多い超高真空系

  • シリーズ

    真空ポンプ コンビネーションポンプ (真空ポンプ)

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真空ポンプ コンビネーションポンプ (真空ポンプ) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用圧力範囲 ベーキング温度 質量 吸気口フランジ 内容積約 適用制御装置
真空ポンプ コンビネーションポンプ (真空ポンプ) -品番-400 L/sコンビネーションポンプ

400 L/sコンビネーションポンプ

要見積もり

10^-1 Pa ~ 10^-9 Pa

MAX250 ℃

約15 kg

φ152ICFフランジ

4.5 L

922-9119サブリメーションポンプ制御装置およびPIC-052NP 20/60 L/sノーブルポンプ制御装置

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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