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真空ポンプ ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大排気速度 (L/min) | 到達圧力注1) (Pa) | 最大吸気口圧力 | 最大排気口圧力 | 吸気口フランジ | 排気口フランジ | 冷却水 最大供給圧力 (MPa) | 冷却水 流量 (L/min) | 冷却水 接続口径 | 窒素 供給圧力 (MPa) | 窒素 流量 (L/min) | 窒素 接続口径 | 電源電圧 | 電源容量 (kVA) | 消費電力 (kW) | 使用環境温度範囲 (℃) | 質量 (kg) | 外形寸法 L×W×H (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MU100N |
要見積もり |
1,660 |
1.5 |
大気圧 |
大気圧 |
NW50 |
NW25 |
0.5 (ゲージ圧) IN-OUT差圧：0.2以上 |
2~3 (温度：10~25 ℃) |
Rc1/4 (セルフシールカプラ付) |
0.1~0.7 (ゲージ圧) |
0または5 |
1/4"パイプ継手 |
三相 AC200~220V 50/60Hz |
4 |
0.7 |
5~30 ℃ |
60 |
450×230×275 |
