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Nanofurnace 卓上型 熱CVD 装置 Model. BWS-NANO取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 石英管 | 試料サイズ | 最高使用温度 | 圧力調整 | 真空計 | 流量制御 | 流量範囲 | 到達真空度 | ベンチトップ寸法 | 重量 | 電源 | プロセスガス | 圧縮空気 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
BWS-NANO |
要見積もり |
Φ2.5inch 標準, Φ4inch (オプション) ×長さ12inch |
10mm (Φ2.5inch) 100mm (Φ4inch) |
Max1,100℃ |
Baratron ゲージ＋640 圧力コントローラ (MKS社) |
コールドカソードゲージ |
マスフローコントローラ (MKS社) |
0~100, or 1,000sccm (*ガス種による) |
5×10-3Torr (ロータリーポンプ付属) |
1,270 (W) ×355 (D) ×460 (H) mm |
約70kg |
単層200V 13A 50/60Hz |
30psi, 200sccm max.Φ1/4inch |
60-80psi, Φ6mm プッシュロック |
