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ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S
入江株式会社
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 搬送タイプ | 外観寸法 (mm) W×D×H | 用力 (V) 電源 | 用力 (kPa) 真空 | 用力 (MPa) 圧空 | 対応ウエハ | ウエハサイズ (インチ) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
YPI-MX FOUP |
要見積もり |
自動搬送 |
2,145 x 1,340 x 1,860 |
AC200 |
-70 ウエハ吸着、-40 排気 |
0.6 FOUP用 |
シリコン、透明ウエハ |
12 |
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