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微細レーザー露光・加工装置 ORES-5000取扱企業
オオクマ電子株式会社カテゴリ
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FPD露光装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最⼩照射径 | 照射エネルギー | 照射波⻑ | スリット | 発振⽅式 | レンズ倍率 | 観察倍率 | レンズWD | レンズ焦点距離 | レンズ搭載数 | 同焦点距離 | デジタルズーム | ステージサイズ | ステージ軸 | XYステージ分解能 | Zステージ分解能 | Θステージ | 多孔質吸着ステージ | 防振機構 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
ORES-5000 |
要見積もり |
0.8µm~ ※対物レンズスペックに依存 |
0.5~10.0mJ |
266nm/355nm/532nm/1064nm |
⾓ |
空冷YAG/⽔冷YAG |
10~150倍 |
総合倍率で12,000倍 |
10mmなど |
2mm~ |
2~6本 |
標準95mm |
有り |
□100mm |
XYZθ 4軸搭載 |
16nm |
1nm |
±135° |
※オプション |
標準搭載 |
FPD露光装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6返答率
100.0%
返答時間
0.8時間