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ブレのない回転を実現 小型・高速分光エリプソメータ (分光楕円偏光解析装置)取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 光源 | ビーム経 | 偏光素子 | 位相板 | 分光器 | 受光素子 | 波長領域 | 波長分解能 | 測定精度 | 入射角 | サンプルステージ | 測定対象サンプル | 解析ソフトウエアー | 分光解析ソフト | PC | 寸法 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MASS-105ST |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
固定 |
固定 |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105SH |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
固定 |
手動θ-Y |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105SM |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
固定 |
自動θ-Y |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105FT |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
手動可変 |
固定 |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105FH |
要見積もり |
回転位相子法 |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
380~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
手動可変 |
手動θ-Y |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105FM |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
手動可変 |
自動θ-Y |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105MT |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
自動可変 |
固定 |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105MH |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
自動可変 |
手動θ-Y |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
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MASS-105MM |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
150WHaランプ |
約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) |
グラントムソンプリズム |
広帯域位相板 |
マルチチャンネル型 |
2048分割CCDタイプ |
360~900nm |
1.5nm |
Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
自動可変 |
自動θ-Y |
・バルク材 |
バルク材屈折率・吸収係数解析 |
“SCOUT” (オプション) |
IBM-PCまたは互換機 |
300W×400D×450Hmm |
