MASS-105MH | ブレのない回転を実現 小型・高速分光エリプソメータ (分光楕円偏光解析装置)
ファイブラボ株式会社
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型番
MASS-105MH
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取扱企業
ファイブラボ株式会社
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ブレのない回転を実現 小型・高速分光エリプソメータ (分光楕円偏光解析装置) MASS-105MHの性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | PC | サンプルステージ | ビーム経 | 位相板 | 偏光素子 | 光源 | 入射角 | 分光器 | 分光解析ソフト | 受光素子 | 寸法 | 波長分解能 | 波長領域 | 測定対象サンプル | 測定方式 | 測定精度 | 解析ソフトウエアー |
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要見積もり | IBM-PCまたは互換機 | 手動θ-Y | 約φ1~5mm (スポットレンズオプション使用の場合約350μ) | 広帯域位相板 | グラントムソンプリズム | 150WHaランプ | 自動可変 | マルチチャンネル型 | “SCOUT” (オプション) | 2048分割CCDタイプ | 300W×400D×450Hmm | 1.5nm | 360~900nm |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜 |
回転位相子法 (RQ法) | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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