非接触･非破壊にて測定可能レーザーエリプソメータ (自動楕円偏光解析装置)-MARY-102ST

非接触･非破壊にて測定可能レーザーエリプソメータ (自動楕円偏光解析装置)
ファイブラボ株式会社

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この製品について

■タイプ手動・自動・多入射・裏面除去機能

■装置概要エリプソメーターとは、物質表面での光の入反射光の偏光状態の変化を測定し、薄膜の厚さ、屈折率や吸収係数などの光学定数、或いはバルク材の光学定数を解析する装置です。非接触･非破壊にて測定が行えます。

■特徴MARY-102は、弊社の光計測技術を基に、小型・低価格・高精度・使い易さを追求して開発されました。シミュレーション機能等を充実させた研究用ソフトウェアの他に、ルーチン作業に適した工業用ソフトウェアもご選択いただけます。測定方式に回転位相子法を採用している為、回転検光子法では測定しにくいデルタの領域も位相板の出し入れ無しで高精度に測定でき、ゾーン判定もすばやく行われます。

■手動θ-Yステージにて自動多点測定が可能です。マッピング測定も可能で、結果を3次元鳥瞰図にて表示も可能です。・自動θ軸　ストローク:360度　分解能:0.1度
・自動Y軸　ストローク:120mm　分解能:0.1mm"

他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
非接触･非破壊にて測定可能レーザーエリプソメータ (自動楕円偏光解析装置)

取扱企業
ファイブラボ株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

エリプソメーター

測定機器

光学測定器

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非接触･非破壊にて測定可能レーザーエリプソメータ (自動楕円偏光解析装置) 品番10件

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品番	価格 (税抜)	測定方式	光源	ビーム径	入射角	サンプルステージ	測定精度	測定時間	コントロールステーション	寸法	ソフトウェア	PC	入射角固定	入射角手動可変	入射角自動可変	固定サンプルステージ	手動サンプルステージ
MARY-102ST	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	固定	固定	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102SH	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	固定	手動θ-Y	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102SM	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	固定	手動θ-Y	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102FT	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	手動可変	固定	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102FH	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	手動可変	手動θ-Y	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102FM	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	手動可変	自動θ-Y	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102MT	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	自動可変	固定	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102MH	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	自動可変	手動θ-Y	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
MARY-102MM	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mW　HeNeレーザ (λ＠632.8nm)	0.8mmφ	自動可変	自動θ-Y	Δ=±0.01° ψ=±0.01° @SiO2 (1,000Å) /Si	最小0.05秒	DOS/Vパソコン	300W×400D×450Hmm	研究用・工業用を選択	IBM-PCまたは互換機	通常70度にて固定します。	50・60・70・80どんお手動可変になります。	45~90度　0.01度ステップで設定が可能です。 5入射まで自動で測定を行えます。	サンプルの1点を測定させるためのステージです。手動チルト・手動高さ調整機付き	手動θ-Yステージにて測定場所を決定します。手動θ軸　ストローク:360度　目盛り無し手動Y軸　ストローク:75mmマイクロメータヘッド取り付け可能
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