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自動ステージ ALIO Industries XYステージ-XYステージ
自動ステージ ALIO Industries XYステージ-オーテックス株式会社

自動ステージ ALIO Industries XYステージ
オーテックス株式会社

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この製品について

■True nano Tech 薄型高剛性ステージ

ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステージシステム。従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージ。 特徴

■3枚板の薄型高剛性デザイン

中板の両面に高精度クロスローラーを直交させることにより、薄型デザインで高精度、高剛性を実現。ストロークは問わず、±30nmの繰り返し精度を次世代規格6D Point Precisionで実現。

■高性能モーター/光学エンコーダー採用

欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。

■Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。

■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

  • シリーズ

    自動ステージ ALIO Industries XYステージ

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自動ステージ ALIO Industries XYステージ 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 繰り返し精度 分解能 最大速度
自動ステージ ALIO Industries XYステージ-品番-XYステージ

XYステージ

要見積もり

30-450mm

±30nm

<5nm

0.5-1.0m/sec

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自動ステージの中で同じ条件の製品
移動軸構成: 二軸

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

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会社概要

オーテックス株式会社は、レーザー機器や電気機器、電子機器、光学機器などの各種機器並びにその応用装置と、部品の製造販売、輸出入業務を行っている会社です。 医療・理化学機器や、接着剤、接着テープ、接着シート等の機器も取り扱っ...

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  • 本社所在地: 東京都
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