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自動ステージ ALIO Industries XYステージ-XYステージ
自動ステージ ALIO Industries XYステージ-オーテックス株式会社

自動ステージ ALIO Industries XYステージ
オーテックス株式会社

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この製品について

■True nano Tech 薄型高剛性ステージ

ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステージシステム。従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージ。 特徴

■3枚板の薄型高剛性デザイン

中板の両面に高精度クロスローラーを直交させることにより、薄型デザインで高精度、高剛性を実現。ストロークは問わず、±30nmの繰り返し精度を次世代規格6D Point Precisionで実現。

■高性能モーター/光学エンコーダー採用

欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。

■Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。

■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

  • シリーズ

    自動ステージ ALIO Industries XYステージ

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自動ステージ ALIO Industries XYステージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 繰り返し精度 分解能 最大速度
自動ステージ ALIO Industries XYステージ-品番-XYステージ

XYステージ

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30-450mm

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