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ピエゾステージ-X60S
ピエゾステージ-株式会社オプトサイエンス

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この製品について

■概要

1軸~3軸までのピエゾステージをお取り扱いしています。コンパクト、堅牢性、帯域幅、解像度、非常に細かい位置決めや閉ループ制御のためのひずみゲージを装備できます。 ・Xピエゾステージ : 1軸ピエゾステージは、優れたコンパクト性、強固性、帯域幅、分解能が特長です。 ・XYピエゾステージ: 2軸ステージは、細かい位置決めや、クローズドループ制御用のひずみゲージを 装備可能です。 ・XYZピエゾステージ : 2軸ステージ上にZ軸を装備します。 最大110µm のストロークの 1軸ステージで、最大10nm の精度を実現するひずみゲージを装備することができます。

  • シリーズ

    ピエゾステージ

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最新の閲覧: 22時間前


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ピエゾステージ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大無負荷変位 無負荷共振周波数 応答速度 サイズ
ピエゾステージ-品番-X60S

X60S

要見積もり

55 µm

1,840 Hz

0.27 ms

30 x 30 x 12 mm

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使用用途: 精密位置決め

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使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社オプトサイエンスは、1987年に設立された、光学部品や光学デバイスなどを取り扱う輸入技術商社です。 おもな取扱製品には、レーザ光源、光学素子・部品・モジュール、光センサなどの光学デバイス・コンポーネントや、オプ...

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  • 本社所在地: 東京都
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