膜厚計レーザタイプエリプソメータ
ミワオプト株式会社

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この製品について

■レーザエリプソメータについて弊社はガートナサイエンティフィック社とは会社設立の以前よりパートナシップを保っています。納入実績はワールドワイドで2,100セット以上、日本国内で500セット以上の納入台数が有ります。

ストークス方式を採用することによって高速測定、高精度及び、高再現性を実現。また、測定時の可動部分が無いためメンテナンスフリーを実現。

■特徴・単波長 ストークス型エリプソメータ He-Neレーザ λ＝632.8nm
・多波長型 ストークス型エリプソメータ He-Neレーザの他に1～2波長の追加が可能。375、405、488、544、830nm以外も対応化

■オプション・オートステージ (WS) 
・オートフォーカス (AF) 
・オートチルト (AT) 
・ウェハー自動搬送 (WH) 
・マイクロスポット (MS) 
・サンプルステージは最大20インチ 更なる大口径も可能
・各種安全対策
・標準膜厚ウェハー (STD) 
・日本国内でソフト開発

■アップグレードについて・制御コントローラを旧タイプより現状のコントローラに変更する事は可能です。
・手動ステージからオートステージにアップグレードも可能。
・オートフォーカス&オートチルトへのアップグレードも可能。