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膜厚計 レーザタイプエリプソメータ-LSE
膜厚計 レーザタイプエリプソメータ-ミワオプト株式会社

膜厚計 レーザタイプエリプソメータ
ミワオプト株式会社

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この製品について

■レーザエリプソメータについて

弊社はガートナサイエンティフィック社とは会社設立の以前よりパートナシップを保っています。納入実績はワールドワイドで2,100セット以上、日本国内で500セット以上の納入台数が有ります。 ストークス方式を採用することによって高速測定、高精度及び、高再現性を実現。また、測定時の可動部分が無いためメンテナンスフリーを実現。

■特徴

・単波長 ストークス型エリプソメータ He-Neレーザ λ＝632.8nm ・多波長型 ストークス型エリプソメータ He-Neレーザの他に1～2波長の追加が可能。375、405、488、544、830nm以外も対応化

■オプション

・オートステージ (WS) ・オートフォーカス (AF) ・オートチルト (AT) ・ウェハー自動搬送 (WH) ・マイクロスポット (MS) ・サンプルステージは最大20インチ 更なる大口径も可能 ・各種安全対策 ・標準膜厚ウェハー (STD) ・日本国内でソフト開発

■アップグレードについて

・制御コントローラを旧タイプより現状のコントローラに変更する事は可能です。 ・手動ステージからオートステージにアップグレードも可能。 ・オートフォーカス&オートチルトへのアップグレードも可能。

  • シリーズ

    膜厚計 レーザタイプエリプソメータ

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ミワオプト株式会社

会社概要

ミワオプト株式会社は1993年の設立であり、光学測定機器の開発および輸入販売を行うメーカーです。 主に膜厚計やウエハの各種測定装置などの光学測定機器を取り扱い、偏光解析によるものや、干渉を利用したものなどバリエーション...

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