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自動エリプソメータシステム LMシリーズ-自動エリプソメータシステム LMシリーズ
自動エリプソメータシステム LMシリーズ-ミワオプト株式会社

自動エリプソメータシステム LMシリーズ
ミワオプト株式会社

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この製品について

■概要

ガートナ社のエリプソメータは、ワールドワイドで2,500台以上の出荷実績があり、日本国内でも550台以上有ります。本システムは、ストークス法の測定方法と各種測定タイプを用意しております。

■特徴

・Lシリーズにオートフォーカス及びオートチルトを標準で装備しているため、次世代のプロセスラインに 対応している。よって、更に高精度&高再現性を実現し、高い信頼性を実現している。 ・自動化対応システム。 ・L＆Sシリーズを自動化に対応しており、最大300mm まで対応。

  • シリーズ

    自動エリプソメータシステム LMシリーズ

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ミワオプト株式会社

会社概要

ミワオプト株式会社は1993年の設立であり、光学測定機器の開発および輸入販売を行うメーカーです。 主に膜厚計やウエハの各種測定装置などの光学測定機器を取り扱い、偏光解析によるものや、干渉を利用したものなどバリエーション...

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  • 本社所在地: 東京都

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