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接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ルーツ式ドライ真空ポンプ-ルーツ式ドライ真空ポンプ
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ルーツ式ドライ真空ポンプ-サーフ工業株式会社

接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ルーツ式ドライ真空ポンプ
サーフ工業株式会社

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この製品について

ルーツ式ドライ真空ポンプ VPシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現しました。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 接ガス部フッ素樹脂ライニング施工で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に最適です。

■特徴

・接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ・フッ素樹脂ライニング300μm以上 ・ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に最適

■耐薬品性

・フッ化水素 ・塩化水素 ・ヨウ化水素etc...

■用途

・半導体 ・製薬、化学 ・高機能材 ・非鉄金属、無機 ※腐食性ガスを用いる装置全般

■実績

・ヨウ化水素ガス (セラミックス製ポンプから切替) →VP4-501×5.5kW  1.6m3/min×8.0kPa・A ・塩化系ガス→VP4-651×7.5kW  2.67m3/min×0.33kPa・A

  • シリーズ

    接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ルーツ式ドライ真空ポンプ

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接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ルーツ式ドライ真空ポンプ 品番1件

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ルーツ式ドライ真空ポンプ

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

サーフ工業株式会社は2003年に設立された、フッ素樹脂コーティング・電解砥粒研磨など表面処理加工をしている会社です。 金属などの表面にフッ素樹脂などの薄い膜を生成することで、耐摩耗性・耐薬品性などを高めるコーティング加...

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  • 本社所在地: 千葉県
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