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ドライ真空ポンプ EcopositiVシリーズ-ER100D
ドライ真空ポンプ EcopositiVシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

ドライ真空ポンプ EcopositiVシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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この製品について

■同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。

・到達圧力時消費電力:400W ・設置面積:0.11m2 ・重量:60kg

■用途に応じた製品仕様をご用意しております。

・ER100D:軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適 ・ER100DC:耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応

■用途

・クリーン排気 ・スパッタ装置粗引き ・TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ ・ロードロック室、搬送室排気 ・小型実験装置排気 ・吸着搬送システム ・分析・測定装置の排気 ・小型炉排気 ・電子銃源、イオン銃源排気

  • シリーズ

    ドライ真空ポンプ EcopositiVシリーズ

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ドライ真空ポンプ EcopositiVシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気速度 (L/min) 試験到達圧力 (Pa) 到達圧力時消費電力 (W) 電源 電圧 (V) 電源 周波数 (Hz) 電源 相数 電源 電源容量 (kVA) N2パージガス流量 (Pa・m3/s) 冷却方式 冷却水量 (L/min) 冷却水温度 (℃) 質量 (kg)
ドライ真空ポンプ EcopositiVシリーズ-品番-ER100D

ER100D

要見積もり

1,670

5

400

200-220

50/60

三相

3.2

17-20

水冷

1.5-3.0

Max.30

60

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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