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空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ-FR060D
空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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■FR060D

・大気圧で連続運転可能 ・開放時排気速度800L/min ・水蒸気吸入可能 ・水蒸気処理量500g/hr ・排気時間の短縮 ・到達付近まで一定の排気速度維持 ・空冷仕様

■用途

・小型実験排気用 ・ロードロック室、搬送 ・分析・測定装置の排気 ・吸着・搬送 ・加速器の排気 ・封止・封着 ・電子銃源・イオン銃源排気 ・乾燥 ・スパッタ蒸着などのPVD装置排気 ・小型炉排気 ・TMPなどの高真空ポンプの補助ポンプ

  • シリーズ

    空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ

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空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気速度 (L/min) 最大 排気速度 (L/min) 開放運転時 試験到達圧力 (Pa) 通常 試験到達圧力 ガスバラスト時 接続形式 吸気口 接続形式 排気口 最大水蒸気処理量 (g/hr) 潤滑油量 (mL) 消費電力 (kW) 到達圧力時 消費電力 (kW) 最大 電源 電圧 (V) 電源 周波数 (Hz) 電源 相数 電源 許容電圧変動 電源 電源容量 (kVA) 電流 (A) 単相 電流 (A) 三相 冷却方式 概略質量 (kg) 環境温度 (℃)
空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ-品番-FR060D

FR060D

要見積もり

1,000

800

1

2

KF (NW) 40

KF (NW) 40

500

90

1.1

1.3

200-240

50/60

単相/三相

±10%

3

11.1

6.5

空冷

75

5-40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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