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空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ-FR060D
空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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■FR060D

・大気圧で連続運転可能 ・開放時排気速度800L/min ・水蒸気吸入可能 ・水蒸気処理量500g/hr ・排気時間の短縮 ・到達付近まで一定の排気速度維持 ・空冷仕様

■用途

・小型実験排気用 ・ロードロック室、搬送 ・分析・測定装置の排気 ・吸着・搬送 ・加速器の排気 ・封止・封着 ・電子銃源・イオン銃源排気 ・乾燥 ・スパッタ蒸着などのPVD装置排気 ・小型炉排気 ・TMPなどの高真空ポンプの補助ポンプ

  • シリーズ

    空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ

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空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気速度 (L/min) 最大 排気速度 (L/min) 開放運転時 試験到達圧力 (Pa) 通常 試験到達圧力 ガスバラスト時 接続形式 吸気口 接続形式 排気口 最大水蒸気処理量 (g/hr) 潤滑油量 (mL) 消費電力 (kW) 到達圧力時 消費電力 (kW) 最大 電源 電圧 (V) 電源 周波数 (Hz) 電源 相数 電源 許容電圧変動 電源 電源容量 (kVA) 電流 (A) 単相 電流 (A) 三相 冷却方式 概略質量 (kg) 環境温度 (℃)
空冷式多段ルーツ型ドライ真空ポンプ FRシリーズ-品番-FR060D

FR060D

要見積もり

1,000

800

1

2

KF (NW) 40

KF (NW) 40

500

90

1.1

1.3

200-240

50/60

単相/三相

±10%

3

11.1

6.5

空冷

75

5-40

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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