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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ-TGkine2200M-R
磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。

■TGkine2200M-R

・省電力設計 ・設定パラメータ、稼働データ、異常履歴などをポンプ本体に保持可能。※オーバーホール時にコントローラを入れ替えても、データ引継ぎ可能 ・多様な通信仕様EtherCAT対応可能 ・国際規格適合CE/NRTL/SEMI-S2

  • シリーズ

    磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ

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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口フランジ 排気口フランジ 排気速度 N2 (L/s) 排気速度 N2 (保護金給付) (L/s) 排気速度 H2 (L/s) 最大圧縮比 N2 最大圧縮比 H2 最大ガス流量 N2 (sccm) 最大ガス流量 Ar (sccm) 起動時間 (min) 停止時間 (min) 到達圧力 (Pa) 到達圧力 (Torr) 許容補助圧力 (Pa) 許容補助圧力 (Torr) 推奨補助ポンプ (L/min) 取付姿勢 質量 (kg)
磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ-品番-TGkine2200M-R

TGkine2200M-R

要見積もり

ISO-B250 VG250

KF40

2,200

2,100

1,800

>2×10^8

3×10^3

7,000

3,000

≦10

≦10

<2×10^-7

<1.5×10^-9

220

1.65

≧2,200

自在

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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