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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ-TGkine1700M-B
磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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この製品について

コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。

■ 特長

・コントローラ・電源一体型 ・省電力設計 ・省スペース ・IP54標準対応 ・多様な通信仕様 ・国際規格適合CE/NRTL/SEMI-S2

■ 用途

・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・太陽電池製造装置 ・ガラス/レンズ等の光学部品加工 ・フィルム加工 ・加速器/宇宙環境試験装置

  • シリーズ

    磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ

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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口フランジ 排気口フランジ 排気速度 N2 (L/s) 排気速度 N2 (保護金給付) (L/s) 排気速度 H2 (L/s) 最大圧縮比 N2 最大圧縮比 H2 最大ガス流量 N2 (sccm) 最大ガス流量 Ar (sccm) 起動時間 (min) 停止時間 (min) 到達圧力 (Pa) 到達圧力 (Torr) 許容補助圧力 (Pa) 許容補助圧力 (Torr) 推奨補助ポンプ (L/min) 取付姿勢 入力電圧 (ACV) 入力相数 周波数 (Hz) 電流 (A) 所要電力 (kVA) 質量 (kg)
磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ-品番-TGkine1700M-B

TGkine1700M-B

要見積もり

ISO-B200 VG200

KF40

1,650

1,570

1,550

>2×10^8

3×10^3

4,400

2,600

≦10

≦10

<2×10^-7

<1.5×10^-9

220

1.65

≧2,000

自在

AC200-240V

単相

50/60

Max.5.3

Max.0.9

65

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到達真空度: 0 - 0.01Pa

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府

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