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真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-CPE-200AHM
真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-株式会社魁半導体

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株式会社魁半導体

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この製品について

SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。

■製品概要

・プラズマエッチャーCPEシリーズに、ステージ加熱付きが新登場 ・最高400℃まで加熱可能 ・処理時間短縮、耐久試験の加速試験に ・タッチパネルで簡単操作 (プラズマ操作部) ・PID制御による高精度温度制御

  • シリーズ

    真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM

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真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 電極ステージ ステージ加熱 ガス導入 電源
真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-品番-CPE-200AHM

CPE-200AHM

要見積もり

W560mm×D690mm×H1,650mm

直径200mm

最高温度400℃

2系統

単相200V, 30A

フィルターから探す

プラズマエッチング装置をフィルターから探すことができます

電源 V

単相200V 30A AC100V 30A AC100V 15A 単相100V 15A 単相100V 30A 200V 単相 20A

ガス系統 系統

1系統 2系統 3系統

ステージ寸法 mm

200mm 100mm 1000mm

処理圧力調整

バルブ 手動調整 APC制御

真空計

ピラニ真空計 ターボ分子ポンプ ロータリーポンプ WRG

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株式会社魁半導体

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府

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