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自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ-ZAA-100
自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ-ツクモ工学株式会社

自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ
ツクモ工学株式会社

⚡ エネルギー業界用 💻 電子・電気機器業界用 🚀 航空・宇宙業界用

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この製品について

■概要

・自動Z軸ステージは、ステージ面を水平に保持し、モーター駆動によりZ軸方向へ移動・微調整が可能な制御式のZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用しており、滑らかな移動ができます。 ・5相ステッピングモータにより駆動します。 ・装置への利用の他、組み込み利用にも有効です。 ・お手持ちのコントローラに併せてのコネクタ配線にも対応しております。お問い合わせください。 ・材質  :アルミニウム ・表面処理:黒アルマイト

■製品の固定

・本製品は、下部部品にある穴(キリ穴)にキャップボルトなどを用いて固定できます。

  • シリーズ

    自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ
  • 利用シーン

    エネルギー業界用 / 電子・電気機器業界用 / 航空・宇宙業界用

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自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) ステージ面 移動量 Z 耐荷重 送り方式 駆動方式 電流値 コネクタ 移動ガイド 繰り返し位置決め精度 質量
自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ-品番-ZAA-100

ZAA-100

¥303,000

100×100 mm

0~20 mm

10 kgf (98 N)

ネジ・リード 2mm

5相ステッピングモータ

0.75 A/相

Dsub 9 pin

クロスローラ

±0.001 mm以内

約 3 kg

フィルターに該当する他製品

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移動軸構成: 単軸

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自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ツクモ工学株式会社は、1986年に創業した 光学機器のメーカーです。

主な事業内容は、光学に関連する機器の製造です。素材の表面の粗さや高さ、うねりなどを計測する機器や、ミラー、レンズ、プリズムといった光...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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