制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
返答率
100.0%
返答時間
115.0時間
手法
斜入射小角X線散乱測定 (GISAXS) X線反射率測定 (XRR)
用途
浅い繰り返し構造の臨界寸法測定
X線源
封入管, Cu Ka (8.04 KeV)
X線光学系
多層ミラー光学系
X線検出器
2次元検出器
主要コンポーネント
パターン化ウェーハの計測 周期的な微細な3D形状 ライン＆スペース、ドットまたはホール構造 浅い穴/柱、レジスト、マスクパターン、メモリデバイスのセル領域、FinFET/GAA
特徴
パターン認識およびフルウェーハマッピング
本体寸法
1,865 (W) × 3,700 (D) × 2,115 (H) mm, 2,965 kg (ロードポート含む)
測定対象
GISAXS: ピッチ、CD、高さ、SWA (側壁角度) 、RT (丸みのある上部) 、RB (丸みのある下部) 、線幅分布、ピッチ分布、高さ分布 XRR: 膜厚、密度、および粗さ
型番
XTRAIA CD-3010G取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
もっと見る
X線分析装置の製品111点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | X線源 | X線光学系 | X線検出器 | 主要コンポーネント | 特徴 | 本体寸法 | 測定対象 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり |
斜入射小角X線散乱測定 (GISAXS) X線反射率測定 (XRR) |
浅い繰り返し構造の臨界寸法測定 | 封入管, Cu Ka (8.04 KeV) | 多層ミラー光学系 | 2次元検出器 |
パターン化ウェーハの計測 周期的な微細な3D形状 ライン＆スペース、ドットまたはホール構造 浅い穴/柱、レジスト、マスクパターン、メモリデバイスのセル領域、FinFET/GAA |
パターン認識およびフルウェーハマッピング | 1,865 (W) × 3,700 (D) × 2,115 (H) mm, 2,965 kg (ロードポート含む) |
GISAXS: ピッチ、CD、高さ、SWA (側壁角度) 、RT (丸みのある上部) 、RB (丸みのある下部) 、線幅分布、ピッチ分布、高さ分布 XRR: 膜厚、密度、および粗さ |
GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート |
X線分析装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
測定対象形状が微小領域対応型の製品
X線分析装置をフィルターから探すことができます
![革新的・コンパクト・頑丈 NOVO ポータブルデジタルX線検査 (DR) 装置 (半切[22インチ]検出器搭載)-イージーテストソリューション株式会社](https://metoree.s3.ap-northeast-1.amazonaws.com/img/products-new/3000708202307061.png)
