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最大発生力
12N
分解能
< 1mN
剛性
0.06N / μm
センサー
歪みゲージ
共振周波数
> 120H
使用環境 温度
-10℃ ~ +80℃ 但し結露なきこと
使用環境 真空度
10-4Pa
型番
AST-LAOD-12N取扱企業
オングストロームテクノロジー株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品152点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 最大発生力 | 分解能 | 剛性 | センサー | 共振周波数 | 使用環境 温度 | 使用環境 真空度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 12N | < 1mN | 0.06N / μm | 歪みゲージ | > 120H |
-10℃ ~ +80℃ 但し結露なきこと |
10-4Pa |
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使用用途が精密位置決めの製品
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
