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返答率
100.0%
返答時間
6.3時間
テーブル面サイズ
25×25mm
微動最小分解能
20nm以下
マイクロメータ最小読取
0.01mm
マイクロ操作位置
サイド
モーメント剛性 ピッチング
2.5″/N.cm
モーメント剛性 ローリング
2.0″/N.cm
移動ガイド
ボールガイド
移動精度 真直度
3μm
移動平行度
10μm
移動量 1回転
0.5mm
許容モーメント荷重 ピッチング
2.0N.m
許容モーメント荷重 ヨーイング
1.9N.m
許容モーメント荷重 ローリング
1.9N.m
質量
0.07kg
主要材質
アルミ
粗動移動量
±3mm
耐荷重
39.2N (4.0kgf)
微動移動量
25µm以上
表面処理
黒アルマイト
平行度
30μm
型番
TADC-251SPA取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | テーブル面サイズ | 微動最小分解能 | マイクロメータ最小読取 | マイクロ操作位置 | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ローリング | 移動ガイド | 移動精度 真直度 | 移動平行度 | 移動量 1回転 | 許容モーメント荷重 ピッチング | 許容モーメント荷重 ヨーイング | 許容モーメント荷重 ローリング | 質量 | 主要材質 | 粗動移動量 | 耐荷重 | 微動移動量 | 表面処理 | 平行度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 25×25mm | 20nm以下 | 0.01mm | サイド | 2.5″/N.cm | 2.0″/N.cm | ボールガイド | 3μm | 10μm | 0.5mm | 2.0N.m | 1.9N.m | 1.9N.m | 0.07kg | アルミ | ±3mm | 39.2N (4.0kgf) | 25µm以上 | 黒アルマイト | 30μm |
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使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
