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組込み型膜厚モニター-大塚電子株式会社

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測定項目

膜厚

用途

・光学フィルム (ハードコート、ARフィルム、ITOなど) ・FPD関連 (レジスト、SOI、SiO2など)

この製品について

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現。

■特長

・分光干渉法を用いた膜厚計 ・高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載 (特許 第4834847号) ・オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能 ・各種製造装置への組み込みが可能 ・リアルタイムでの膜厚測定が可能 ・遠隔操作、多点測定に対応 ・長寿命、高安定性の白色LED光源を採用

  • 型番

    組込み型膜厚モニター

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組込み型膜厚モニター 組込み型膜厚モニターの性能表

商品画像 価格 (税抜) 測定項目 用途
組込み型膜厚モニター-品番-組込み型膜厚モニター 要見積もり 膜厚 ・光学フィルム (ハードコート、ARフィルム、ITOなど)
・FPD関連 (レジスト、SOI、SiO2など)

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定原理

接触式 非接触式 超音波式 渦電流式

測定方式

単点式 ラインスキャン式 面スキャン式

構造形態

卓上型 ハンディ型 インライン型

測定対象

薄膜対応型 厚板対応型

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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12.9時間

会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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