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MCPD series 組込み型膜厚ヘッド-大塚電子株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

12.9時間

全型番で同じ値の指標

測定波長範囲 (nm)

220~850

膜厚範囲

65nm~35μm

膜厚/反射/透過/リタデーション

色測定

スキャン時間

5ms~20s

スポット径

φ1.2mm

ファイバー長

1m~

この製品について

当社のMCPD seriesは、フレキシブルファイバーを採用することにより、In-Situからインラインまで様々な場所や用途への組込みが可能になっております。測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能です。

■特長

・膜厚測定範囲65nm~92μm (SiO2換算) ・最短露光時間1ms~ ※仕様による ・フレキシブルファイバー光学系のため、半導体プロセス装置に組込みが容易 ・上位からリモートコントロールが可能 ・研磨中の膜厚終点検出にも最適

  • 型番

    MCPD-9800仕様 (MCPD-9800 2285C)

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MCPD series 組込み型膜厚ヘッド MCPD-9800仕様 (MCPD-9800 2285C)の性能表

商品画像 価格 (税抜) 測定波長範囲 (nm) 膜厚範囲 膜厚/反射/透過/リタデーション 色測定 スキャン時間 スポット径 ファイバー長
MCPD series 組込み型膜厚ヘッド-品番-MCPD-9800仕様 (MCPD-9800 2285C) 要見積もり 220~850 65nm~35μm 5ms~20s φ1.2mm 1m~

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定原理

接触式 非接触式 超音波式 渦電流式

測定方式

単点式 ラインスキャン式 面スキャン式

構造形態

卓上型 ハンディ型 インライン型

測定対象

薄膜対応型 厚板対応型

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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12.9時間

会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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