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テーブルサイズ
125mm×125mm
案内方式
精密クロスローラ・ガイド
駆動モータ
5相ステッピングモータ 0.75A/相
移動量
±25mm
送りネジ
ボールネジφ6 リード1
分解能
1μm/pulse (Half step)
繰り返し位置決め精度
±0.3μm
バック・ラッシュ
1μm
ロストモーション
1μm
真直度
1μm/10mm
最高速度
10mm/Sec
質量
2.0kg
型番
KX-125取扱企業
株式会社KUGEカテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | テーブルサイズ | 案内方式 | 駆動モータ | 移動量 | 送りネジ | 分解能 | 繰り返し位置決め精度 | バック・ラッシュ | ロストモーション | 真直度 | 最高速度 | 質量 |
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要見積もり | 125mm×125mm | 精密クロスローラ・ガイド | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 | ±25mm | ボールネジφ6 リード1 | 1μm/pulse (Half step) | ±0.3μm | 1μm | 1μm | 1μm/10mm | 10mm/Sec | 2.0kg |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
