FCV-C40 | フローコントロールバルブ FCV-C
東フロコーポレーション株式会社

東フロコーポレーション株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

135.6時間

全型番で同じ値の指標

規格C40-G08 (接続口径)

Tube1/4″ (φ6.35×φ4.35)

規格C40-G08 (制御流量範囲)

15.0~300.0mL/min 25.0~500.0mL/min 50~1,000mL/min 100~2,000mL/min

規格C40-G10 (接続口径)

Tube3/8″ (φ9.53×φ6.33)

規格C40-G10 (制御流量範囲)

25.0~500.0mL/min 50~1,000mL/min 100~2,000mL/min 150~3,000mL/min 500~5,000mL/min

規格C60-G15 (接続口径)

Tube1/2″ (φ12.7×φ9.53)

規格C60-G15 (制御流量範囲)

0.25~5.00L/min 0.50~10.00L/min 0.75~15.00L/min

規格C80-G20 (接続口径)

Tube3/4″ (φ19×φ15.8)

規格C80-G20 (制御流量範囲)

1.00~20.00L/min 1.50~30.00L/min ※順次拡充予定

流量単位

A:mL/min (C40) B:L/min (C60/C80)

最大流量

制御流量範囲よりご選定ください

アナログ出力方式

A:4-20mA B:1-5V N:機能なし

制御流量入力方式

A:4-20mA B:1-5V F:パラメータ (RS485通信 ModbusRTU)

流量計／モニタ入力

A:4-20mA B:1-5V

制御流量分解能

0.1mL/min (最大流量500mL/min以下) 1mL/min (最大流量500mL/min超える)

動力部

ステッピングモータ

制御精度

指示流量に対して±1% of R.D. ※流量仕様の10％以下：±0.1% of F.S.

再現性

±1% of R.D. ※流量仕様の10％以下：±0.1% of F.S.

安定性

±2% of R.D. ※流量仕様の10％以下：±0.2% of F.S.

オリフィス径

φ3 (15~300、25~500、50~1,000mL/min) φ5 (100~2,000、150~3,000、500~5,000mL/min)

使用圧力 MPa (G)

0.05~0.3 (15~300mL/min) 0.10~0.3 (25~500、50~1,000、100~2,000、150~3,000mL/min) 0.15~0.3 (500~5,000mL/min)

必要差圧 MPa

0.05 (15~300mL/min) 0.1 (25~500、50~1,000、100~2,000、150~3,000mL/min) 0.15 (500~5,000mL/min)

全閉→全開動作

約0.3秒

制御動作完了時間

約1秒

流量センサ部

無し ※流量コントロール及び流量出力をする場合にはアナログ出力機能付き流量センサが必要。

流量センサ入力

4-20mA (標準) または1-5V

アナログ入出力流量

4mA (1V) ：0mL/min 20mA (5V) ：制御流量範囲最大値

使用流体

WATER・薬品

耐圧

0.5MPa (G) /20℃

使用流体温度

10~90℃ ※結露なきこと (使用温度により最高圧力が異なります)

使用環境温度

15~50℃ ※結露なきこと

全1種類の型番を一覧でみる

この製品について

外部の流量計から現在流量情報を受取り、設定した流量に自動制御を行います。半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適です。

■特長・設定流量値と外部からの流量情報を比較しフィードバック制御
・高性能ステッピングモータ採用＆高分解能化処理
・シリアル通信機能搭載 (ModbusRTU方式、最大32連) 
・設定流量値の指示方法選択可能 (アナログ信号入力またはシリアル通信) 
・高速な制御応答性 (C40型:約1秒、C60/C80型:約2秒) 
・高速なバルブ全開動作 (C40型:約0.3秒、C60/C80型:約1秒) 

■型式FCV- (規格) - (接続口径) - (流量単位) (最大流量) - (アナログ出力方式) (制御流量入力方式) (流量計／モニタ入力) - (特殊項目) 

■注意・各仕様により必要差圧が異なります。
・使用する流量センサのアナログ信号により本機の最大流量値が制御できない場合があります。

型番
FCV-C40

シリーズ
フローコントロールバルブ FCV-C

取扱企業
東フロコーポレーション株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

弁

流量制御弁

ポンプ

フローコントローラー

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フローコントロールバルブ FCV-C FCV-C40の性能表

商品画像	価格 (税抜)	規格C40-G08 (接続口径)	規格C40-G08 (制御流量範囲)	規格C40-G10 (接続口径)	規格C40-G10 (制御流量範囲)	規格C60-G15 (接続口径)	規格C60-G15 (制御流量範囲)	規格C80-G20 (接続口径)	規格C80-G20 (制御流量範囲)	流量単位	最大流量	アナログ出力方式	制御流量入力方式	流量計／モニタ入力	制御流量分解能	動力部	制御精度	再現性	安定性	オリフィス径	使用圧力 MPa (G)	必要差圧 MPa	全閉→全開動作	制御動作完了時間	流量センサ部	流量センサ入力	アナログ入出力流量	使用流体	耐圧	使用流体温度	使用環境温度
	要見積もり	Tube1/4″ (φ6.35×φ4.35)	15.0~300.0mL/min 25.0~500.0mL/min 50~1,000mL/min 100~2,000mL/min	Tube3/8″ (φ9.53×φ6.33)	25.0~500.0mL/min 50~1,000mL/min 100~2,000mL/min 150~3,000mL/min 500~5,000mL/min	Tube1/2″ (φ12.7×φ9.53)	0.25~5.00L/min 0.50~10.00L/min 0.75~15.00L/min	Tube3/4″ (φ19×φ15.8)	1.00~20.00L/min 1.50~30.00L/min ※順次拡充予定	A:mL/min (C40) B:L/min (C60/C80)	制御流量範囲よりご選定ください	A:4-20mA B:1-5V N:機能なし	A:4-20mA B:1-5V F:パラメータ (RS485通信 ModbusRTU)	A:4-20mA B:1-5V	0.1mL/min (最大流量500mL/min以下) 1mL/min (最大流量500mL/min超える)	ステッピングモータ	指示流量に対して±1% of R.D. ※流量仕様の10％以下：±0.1% of F.S.	±1% of R.D. ※流量仕様の10％以下：±0.1% of F.S.	±2% of R.D. ※流量仕様の10％以下：±0.2% of F.S.	φ3 (15~300、25~500、50~1,000mL/min) φ5 (100~2,000、150~3,000、500~5,000mL/min)	0.05~0.3 (15~300mL/min) 0.10~0.3 (25~500、50~1,000、100~2,000、150~3,000mL/min) 0.15~0.3 (500~5,000mL/min)	0.05 (15~300mL/min) 0.1 (25~500、50~1,000、100~2,000、150~3,000mL/min) 0.15 (500~5,000mL/min)	約0.3秒	約1秒	無し ※流量コントロール及び流量出力をする場合にはアナログ出力機能付き流量センサが必要。	4-20mA (標準) または1-5V	4mA (1V) ：0mL/min 20mA (5V) ：制御流量範囲最大値	WATER・薬品	0.5MPa (G) /20℃	10~90℃ ※結露なきこと (使用温度により最高圧力が異なります)	15~50℃ ※結露なきこと