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100.0%
返答時間
35.7時間
XYストローク
±8mm
Zストローク
±6mm
チルト
<±1°
回転 (ZΘ)
±1°
繰り返し精度 (XYZ)
XY±0.25μm Z±0.13μm
繰り返し精度 (Rx, Ry, Rz)
±0.5μrad
サイズ
φ690mm 高さ (Z中間地点) 360mm
耐荷重
500kg
型番
SURES取扱企業
オーテックス株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | XYストローク | Zストローク | チルト | 回転 (ZΘ) | 繰り返し精度 (XYZ) | 繰り返し精度 (Rx, Ry, Rz) | サイズ | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | ±8mm | ±6mm | <±1° | ±1° | XY±0.25μm Z±0.13μm | ±0.5μrad | φ690mm 高さ (Z中間地点) 360mm | 500kg |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
