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返答時間
35.7時間
XYストローク
±30mm
Zストローク
±20mm
チルト
<±11°
回転 (ZΘ)
±20°
繰り返し精度 (XYZ)
±0.75μm
繰り返し精度 (Rx, Ry, Rz)
±3.2μrad
サイズ
φ320mm 高さ (Z中間地点) 200mm 開口φ144mm
耐荷重
25kg
型番
PUNA取扱企業
オーテックス株式会社カテゴリ
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自動ステージの製品208点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | XYストローク | Zストローク | チルト | 回転 (ZΘ) | 繰り返し精度 (XYZ) | 繰り返し精度 (Rx, Ry, Rz) | サイズ | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
要見積もり | ±30mm | ±20mm | <±11° | ±20° | ±0.75μm | ±3.2μrad | φ320mm 高さ (Z中間地点) 200mm 開口φ144mm | 25kg |
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使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動方式
電動 手動 空気浮上駆動方式
ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御移動軸構成
単軸 二軸 三軸 回転 傾斜特殊機能
真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40
