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返答率
100.0%
返答時間
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ポンプ 冷却方式
自然空冷/強制空冷
フランジ口径 (吸気口)
VG65, ICF114, ISO063-K
フランジ口径 (排気口)
KF16
排気速度 (保護ネットなし時) N2
70L/s
排気速度 (保護ネットなし時) He
60L/s
排気速度 (保護ネットなし時) H2
49L/s
到達圧力 (ベーキング後)
-3
到達圧力 (ベーキング前)
10^-6Pa
最大圧縮比
N2:>1×10 9, He:4×10 7, H2:4×10 5
最大吸気口圧力 (N2)
0.43Pa
最大排気口圧力 (N2)
300Pa
連続運転最大流量 ガスパージ無 (N2)
15sccm
推奨補助ポンプ
60L/min以上
質量
VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg
回転数
87,000rpm
起動時間 (80%まで)
(DC24V 背圧5Pa以下時) 1.7分
表面処理
無し
取り付け方向
全方位
騒音
48dB (A) 以下
入力電源
DC24V ±5%, 120W
接点入出力
REMOTE (D-sub15ピンオス) デジタル入出力4点,アナログ出力1点
シリアル通信
RS-485 (D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用)
LED表示
POWER,NORMAL,ALARM
スイッチ
START/STOP,RESET
回転数可変
ポンプ既定回数の25%~100%の間で回転数の変更が可能 (設定は0.1%単位)
異常検出
アラーム,ワーニングを検出
保護動作
アラーム,ワーニングを表示
型番
UTM70Bシリーズ
ターボ分子ポンプ UTM-B取扱企業
株式会社アルバックカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ポンプ 冷却方式 | フランジ口径 (吸気口) | フランジ口径 (排気口) | 排気速度 (保護ネットなし時) N2 | 排気速度 (保護ネットなし時) He | 排気速度 (保護ネットなし時) H2 | 到達圧力 (ベーキング後) | 到達圧力 (ベーキング前) | 最大圧縮比 | 最大吸気口圧力 (N2) | 最大排気口圧力 (N2) | 連続運転最大流量 ガスパージ無 (N2) | 推奨補助ポンプ | 質量 | 回転数 | 起動時間 (80%まで) | 表面処理 | 取り付け方向 | 騒音 | 入力電源 | 接点入出力 | シリアル通信 | LED表示 | スイッチ | 回転数可変 | 異常検出 | 保護動作 |
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要見積もり | 自然空冷/強制空冷 | VG65, ICF114, ISO063-K | KF16 | 70L/s | 60L/s | 49L/s | -3 | 10^-6Pa | N2:>1×10 9, He:4×10 7, H2:4×10 5 | 0.43Pa | 300Pa | 15sccm | 60L/min以上 | VG:3.3kg, ISF:3.0kg, ISO:5.0kg | 87,000rpm | (DC24V 背圧5Pa以下時) 1.7分 | 無し | 全方位 | 48dB (A) 以下 | DC24V ±5%, 120W | REMOTE (D-sub15ピンオス) デジタル入出力4点,アナログ出力1点 | RS-485 (D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用) | POWER,NORMAL,ALARM | START/STOP,RESET | ポンプ既定回数の25%~100%の間で回転数の変更が可能 (設定は0.1%単位) | アラーム,ワーニングを検出 | アラーム,ワーニングを表示 |
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