PRC-003A | メカニカルブースタポンプ PRC
株式会社アルバック

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100.0%

返答時間

49.7時間

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最大排気速度 (m3/h (L/min) )

50Hz:280 (4670) 60Hz:330 (5500)

最大吸入圧力 (Pa)

50Hz:1.2x10 3 60Hz:9.3x10 2

最大許容圧力差 (Pa)

50Hz:4.0x10 3 60Hz:3.3x10 3

到達圧力 (Pa)

4.0x10 -1

駆動可能圧力 (Pa)

~1.0×105 (大気圧駆動型)

モータモータ形式

キャンドタイプ三相誘導電動機

モーター出力

0.75kW (2極数)

モーター 200V級モータ (V)

50Hz:200V 60Hz:200/220V

使用油

ULVOIL R-42

所要油量 (L)

0.7

冷却方式

水冷

冷却水一次側圧力 (Mpa)

0.3

冷却水出入口差圧 (Mpa)

0.01以上

冷却水冷却水量 (L/min)

冷却水冷却水温度 (℃)

5~30℃

吸気口径 JIS-B-2290

VG80相当

排気口径 JIS-B-2290

VF80相当

外形寸法W×D×H (mm)

296×575×260

質量 (kg)

標準補助ポンプ

VD60C

取扱付属品

取扱説明書1部、油1台分

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この製品について

PRCシリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。

特長
■オイルフリーケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。

■キャンドモータ採用キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。

■耐腐食性に優れた表面処理主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。

■排気時間短縮に有効な大気圧駆動型 (オプション:インバータ) 粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

■特殊用途向けにもオプション対応標準の他、特殊用途向けの機種も用意しております。

■用途・蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
・真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
・分析機器、リークテスト装置
・ガス置換、充填、真空断熱
・熱処理炉、溶解炉
・その他各種真空装置

型番
PRC-003A

シリーズ
メカニカルブースタポンプ PRC

取扱企業
株式会社アルバック

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

ポンプ

ブースターポンプ

ポンプ

メカニカルブースターポンプ

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メカニカルブースタポンプ PRC PRC-003Aの性能表

商品画像	価格 (税抜)	最大排気速度 (m3/h (L/min) )	最大吸入圧力 (Pa)	最大許容圧力差 (Pa)	到達圧力 (Pa)	駆動可能圧力 (Pa)	モータモータ形式	モーター出力	モーター 200V級モータ (V)	使用油	所要油量 (L)	冷却方式	冷却水一次側圧力 (Mpa)	冷却水出入口差圧 (Mpa)	冷却水冷却水量 (L/min)	冷却水冷却水温度 (℃)	吸気口径 JIS-B-2290	排気口径 JIS-B-2290	外形寸法W×D×H (mm)	質量 (kg)	標準補助ポンプ	取扱付属品
	要見積もり	50Hz:280 (4670) 60Hz:330 (5500)	50Hz:1.2x10 3 60Hz:9.3x10 2	50Hz:4.0x10 3 60Hz:3.3x10 3	4.0x10 -1	~1.0×105 (大気圧駆動型)	キャンドタイプ三相誘導電動機	0.75kW (2極数)	50Hz:200V 60Hz:200/220V	ULVOIL R-42	0.7	水冷	0.3	0.01以上	2	5~30℃	VG80相当	VF80相当	296×575×260	51	VD60C	取扱説明書1部、油1台分