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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ LR-株式会社アルバック

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最大排気速度 (50Hz) m3/h (L/min)

62 (1,030)

最大排気速度 (60Hz) m3/h (L/min)

80 (1,333)

到達圧力

5.0 Pa

最大吸気口圧力 ( (吸入圧力)

大気圧

最大排気口圧力 (排出圧力)

1Pa~大気圧

吸気口 (CE仕様)

VG50 (KF50)

排気口

KF40

質量 (kg)

180

電力三相 (VAC (Hz)

200 (50/60) , 220 (60)

電流値A (定常時)

6.9 (200V時)

電流値A (最大値)

7.3 (200V時)

冷却水一時圧力 (MPa)

0.1~0.3

冷却水出入口差圧 (MPa)

>0.1

冷却水流量 (L/min)

>5.0

パージガス (一次圧力)

0.1~0.5

パージガス (二次圧力)

0.05~0.1

N2パージ (軸)

5

N2パージ (ガスバラ)

0~45

この製品について

ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排気に最適なポンプとなっています。 特長

■低温領域で均熱化 (LRシリーズ)

PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適です。

■ヘリウムタイト

キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全です。

■瞬停対策

1,000msec以内の瞬停対策を施しています。

■優れた耐食性

主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減します。

■通信機能

ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング/アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能です。

■用途

・成膜装置 (スパッタリング装置/蒸着装置など) ・仕込み取り出し室の排気時間短縮 ・補助排気ポンプとして (ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)

  • 型番

    LR60

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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ LR LR60の性能表

商品画像 価格 (税抜) 最大排気速度 (50Hz) m3/h (L/min) 最大排気速度 (60Hz) m3/h (L/min) 到達圧力 最大吸気口圧力 ( (吸入圧力) 最大排気口圧力 (排出圧力) 吸気口 (CE仕様) 排気口 質量 (kg) 電力三相 (VAC (Hz) 電流値A (定常時) 電流値A (最大値) 冷却水一時圧力 (MPa) 冷却水出入口差圧 (MPa) 冷却水流量 (L/min) パージガス (一次圧力) パージガス (二次圧力) N2パージ (軸) N2パージ (ガスバラ)
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ LR-品番-LR60 要見積もり 62 (1,030) 80 (1,333) 5.0 Pa 大気圧 1Pa~大気圧 VG50 (KF50) KF40 180 200 (50/60) , 220 (60) 6.9 (200V時) 7.3 (200V時) 0.1~0.3 >0.1 >5.0 0.1~0.5 0.05~0.1 5 0~45

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使用用途

#コーティング表面処理 #半導体電子部品 #分析実験室 #乾燥濃縮蒸発脱水 #吸着搬送 #湿分蒸気対応 #食品 #産業用途 #化学薬品対応 #真空包装

動作原理

油回転型 ドライ型 ターボ分子型 クライオ型 イオン型

構造形式

直結型 ベルト駆動型

圧力領域

低真空用 中真空用 高真空用

冷却方式

空冷型 水冷型

到達真空度 Pa

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 100,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 5,000 5,000 - 50,000 50,000 - 500,000 500,000 - 5,000,000

モータ出力 kW

0 - 0.5 0.5 - 2 2 - 10 10 - 30 30 - 70 70 - 110 110 - 150

質量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 6,000

騒音値 dB(A)

40 - 45 45 - 50 50 - 55 55 - 60 60 - 65 65 - 70 70 - 75 75 - 80 80 - 85

電源電圧 V

0 - 30 30 - 150 150 - 250 250 - 380 380 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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49.7時間

会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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