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真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-株式会社魁半導体

CPE-200AHM | 真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM
株式会社魁半導体

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外形寸法

W560mm×D690mm×H1,650mm

電極ステージ

直径200mm

ステージ加熱

最高温度400℃

ガス導入

2系統

電源

単相200V, 30A

この製品について

SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。

■製品概要

・プラズマエッチャーCPEシリーズに、ステージ加熱付きが新登場 ・最高400℃まで加熱可能 ・処理時間短縮、耐久試験の加速試験に ・タッチパネルで簡単操作 (プラズマ操作部) ・PID制御による高精度温度制御

  • 型番

    CPE-200AHM

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真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM CPE-200AHMの性能表

商品画像 価格 (税抜) 外形寸法 電極ステージ ステージ加熱 ガス導入 電源
真空 プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM-品番-CPE-200AHM 要見積もり W560mm×D690mm×H1,650mm 直径200mm 最高温度400℃ 2系統 単相200V, 30A

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ガス系統 系統

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ステージ寸法 mm

200mm 100mm 1000mm

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府

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