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石英管
Φ2.5inch 標準, Φ4inch (オプション) ×長さ12inch
試料サイズ
10mm (Φ2.5inch) 100mm (Φ4inch)
最高使用温度
Max1,100℃
圧力調整
Baratron ゲージ＋640 圧力コントローラ (MKS社)
真空計
コールドカソードゲージ
流量制御
マスフローコントローラ (MKS社)
流量範囲
0~100, or 1,000sccm (*ガス種による)
到達真空度
5×10-3Torr (ロータリーポンプ付属)
ベンチトップ寸法
1,270 (W) ×355 (D) ×460 (H) mm
重量
約70kg
電源
単層200V 13A 50/60Hz
プロセスガス
30psi, 200sccm max.Φ1/4inch
圧縮空気
60-80psi, Φ6mm プッシュロック
型番
BWS-NANO取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 石英管 | 試料サイズ | 最高使用温度 | 圧力調整 | 真空計 | 流量制御 | 流量範囲 | 到達真空度 | ベンチトップ寸法 | 重量 | 電源 | プロセスガス | 圧縮空気 |
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要見積もり | Φ2.5inch 標準, Φ4inch (オプション) ×長さ12inch | 10mm (Φ2.5inch) 100mm (Φ4inch) | Max1,100℃ | Baratron ゲージ＋640 圧力コントローラ (MKS社) | コールドカソードゲージ | マスフローコントローラ (MKS社) | 0~100, or 1,000sccm (*ガス種による) | 5×10-3Torr (ロータリーポンプ付属) | 1,270 (W) ×355 (D) ×460 (H) mm | 約70kg | 単層200V 13A 50/60Hz | 30psi, 200sccm max.Φ1/4inch | 60-80psi, Φ6mm プッシュロック |
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