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この製品について

■概要

ガートナ社のエリプソメータは、ワールドワイドで2,500台以上の出荷実績があり、日本国内でも550台以上有ります。本システムは、ストークス法の測定方法と各種測定タイプを用意しております。

■特徴

・4ディテクターを用いた全く新しい測定法式で、可動部分が無いため、システムの信頼性が向上し、従来より超高速測定が可能になり、変化の早い物質測定が可能である。 ・次世代として開発されたシステムで高速測定、高再現性及び高信頼性を有してます。 ・最大3波長まで搭載可能 (405、488、544、780、830nm他)

  • 型番

    自動エリプソメータシステム Sシリーズ

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定原理

接触式 非接触式 超音波式 渦電流式

測定方式

単点式 ラインスキャン式 面スキャン式

構造形態

卓上型 ハンディ型 インライン型

測定対象

薄膜対応型 厚板対応型

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 500

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この商品の取り扱い会社情報

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87.8時間

会社概要

ミワオプト株式会社は1993年の設立であり、光学測定機器の開発および輸入販売を行うメーカーです。 主に膜厚計やウエハの各種測定装置などの光学測定機器を取り扱い、偏光解析によるものや、干渉を利用したものなどバリエーション...

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  • 本社所在地: 東京都

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